微觀裝置的制造及其處理技術
  • MEMS傳感器的制作方法
    本實用新型涉及聲電轉換,更為具體地,涉及一種降低封裝應力的MEMS傳感器?,F有的MEMS傳感器(如:壓力傳感器、MEMS麥克風),MEMS芯片通過膠與PCB板固定,由于MEMS芯片對封裝應力較為敏感,MEMS芯片容易受到外界應力變化的影響,因此MEMS傳感器對封裝要求較高。因此,為...
  • 地磁傳感器件的制作方法
    本公開涉及半導體,更具體地,涉及一種地磁傳感器件。微機械系統(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS)與集成電路(integratedcircuit,IC)目前是半導體產業最重要的兩個發展領域。在全球科技迅速發展的推動下,MEMS與IC的集成成為...
  • 高聚物納米柱陣列、微反應室陣列的制備方法及應用與流程
    本發明涉及一種高聚物納米柱陣列和微反應室陣列的制備方法,尤其涉及一種可應用于納米級檢測中的高聚物納米柱陣列和微反應室陣列的制備方法。精確的理解化學、材料學、生物醫學等過程需要與其基本單位適應尺寸的測試工具。隨著單分子顯微鏡、單分子光學超分辨成像技術的發展,超微反應分析已經被越來越廣泛的應用...
  • 用于增大微機電系統裝置的產率和可靠性的氣體的制作方法
    例如集成電路的電子裝置通常封裝在密封罩殼中。這些罩殼保護裝置免受原本將進入封裝且機械地損害或電氣地干擾裝置的污染物、粒子和水蒸氣的影響。各種MEMS(微機電系統)裝置包含對MEMS裝置放置在其中的環境提出獨特要求的移動組件和結構(例如微小型化)。隨著時間推移的MEMS裝置的操作(甚至在密封的封裝環...
  • 一種柔性微電極的制造方法與流程
    本發明涉及柔性器件制造,具體涉及一種柔性微電極的制造方法??萍嫉陌l展給人們帶來更便攜的生活方式,科技產品朝著小型化、移動化及可折疊方向發展,電子產品由笨重的臺式電腦發展為輕便的筆記本電腦,再到目前的智能手機,電子產品集成度越來越高、使用也更加便捷。柔性電子器件就是根據科技產品未來的...
  • 一種MEMS催化燃燒傳感器及其加工方法與流程
    本發明屬于傳感器,具體涉及一種MEMS催化燃燒傳感器及其加工方法。在煤炭開采過程中,為保證作業安全,常常需要對各種烷類氣體氣的濃度進行檢測,此時常用到催化燃燒傳感器。傳統的催化燃燒傳感器,包括檢測元件和補償元件,檢測元件和補償元件構成測量電橋,可燃氣體在檢測元件載體及催化劑的作用下...
  • 三維結構的制作方法
    本發明涉及一種微結構技術,且特別是涉及一種三維結構??萍及l展飛速,源自于工業制造用的3D打印技術至今逐漸走入生活。不同于傳統除料式減法制作工藝,3D打印加法制作工藝可制作出具復雜形貌與孔洞的結構,且具備有少量、多樣、高值化的諸多制作優勢。因此,3D打印技術未來可應用護具、航太、汽機車零組件...
  • 微納流體二極管裝置的制作方法
    本發明涉及微流體裝置,具體涉及一種微納流體二極管裝置。電子二極管的發明使電流易于控制成為可能,并在電子電路和器件的小型化中發揮了關鍵作用。它們獨特的整流效果促使人們對熱、流、聲流等其他流動的控制進行探索。流體定向運輸在能源、微流體、液體分離和液體收集等領域都有重要的應用。在流體系統中,通過...
  • 一種MEMS器件及制備方法、電子裝置與流程
    本發明涉及半導體,具體而言涉及一種MEMS器件及制備方法、電子裝置。隨著半導體技術的不斷發展,在傳感器(motionsensor)類產品的市場上,智能手機、集成CMOS和微機電系統(MEMS)器件日益成為最主流、最先進的技術,并且隨著技術的更新,這類傳動傳感器產品的發展方向是規模...
  • 一種臺階結構及其制造方法與流程
    本發明涉及MEMS,更具體地涉及一種臺階結構及其制造方法。采用表面工藝制作的微機電(Micro-Electro-MechnicSystem,MEMS)系統是以硅片為基體,通過多次薄膜淀積和圖形加工制備形成的集微型機構、微型傳感器、信號處理電路、信號控制電路以及微型執行器接口、通信...
  • 吡咯衍生物對碳同素異形體的加合物的制作方法
    根據Treccani百科全書中的定義,在化學中的親油描述了在油和脂肪中容易溶解的物質、原子、分子等。因此,在皂分子中,脂肪酸中的烴基殘基是親油的,而羧基是親水-親油的。同樣根據Treccani百科全書中的定義,同素異形現象是在化學元素中,在固態中存在原子的不同排列和因此不同晶體結構相區分的形式。已...
  • 基于浮動催化法化學氣相反應的微納米結構直寫裝置的制作方法
    本發明涉及柔性電子制造微納米結構直寫,尤其是一種基于浮動催化法化學氣相反應的微納米結構直寫裝置。柔性電子已經成為當前電子產業發展的一個熱點,如柔性顯示器、柔性生物器件、智能皮膚及電子服裝等柔性電子產品已取得了國內外廣泛關注。但傳統柔性電子制造技術,如絲網印刷、刻蝕等,在進一步降低線...
  • 一種電學連接高密度坡面臺階納米線的方法與流程
    本發明涉及通過循環交替刻蝕工藝獲得高密度坡面臺階的方法,尤其涉及一種電學連接高密度坡面臺階納米線的方法。晶硅或相關半導體納米線(Nanowire)是開發新一代高性能微納電子邏輯、傳感和顯示應用的關鍵構建單元。為了更好地與平面電子工藝相兼容,并實現定位集成,本申請發明人最早提出了一種平面固液...
  • 一種具有微納米結構的多功能薄膜制備方法與流程
    本發明涉及功能性薄膜,尤其涉及一種具有微納米結構的多功能薄膜制備方法。自然界生物所具有的自清潔性多為疏水性自清潔,比如“荷葉效應”,其原因是生物表面具有凸起的微結構,這種微納結構將空氣限制在結構空隙中,使荷葉表面形成一層極薄的空氣層,從而達到自清潔的目的,人們對其展開研究,并仿生其...
  • 一種制備納米孔陣列結構的方法與流程
    本發明屬于微納米結構制備領域,具體涉及一種制備納米孔陣列結構的方法。微納米科技是一種新興的科技工藝,也必然是一個不斷發展進步的領域,無論是集成電路技術,還是微系統技術或者納米技術,其共同特征是功能結構的尺寸在微米或納米的范圍,而功能結構的納米化帶來的不僅僅是能源和原材料的節省,而且使多功能...
  • 一種柱狀同軸圓環納米結構的制作方法與流程
    本發明屬于微納米結構制備領域,具體涉及一種柱狀同軸圓環納米結構的制作方法。納米技術是當前一大研究熱點,各種各樣的納米結構表現出許多新穎的物理特性,被認為在光學、材料、生物、能源以及醫學等諸多領域有著極大的應用潛力。柱狀同軸納米結構是一類特殊的納米結構,尤其是金屬化之后,可用以形成特殊的納米...
  • 一種微流道芯片的填充裝置的制作方法
    本發明涉及微流控,尤其涉及一種微流道芯片的填充裝置。微流控芯片是一個跨學科的新領域,是新世紀分析科學、微機電加工、生命科學、化學合成、分析儀器及環境科學等許多領域的重要發展前沿。微流控分析芯片的加工技術起源于半導體及集成電路芯片的微細加工,但芯片通道的加工尺寸遠大于大規模集成電...
  • 一種半導體器件的制造方法與流程
    本發明涉及半導體,具體而言涉及一種半導體器件的制造方法。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems,微機電系統)技術是指對微米/納米(micro/nanotechnology)材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術。利用MEMS技術可以制作各種傳...
  • MEMS傳感器及電子設備的制作方法
    本發明涉及換能領域,更具體地,涉及一種MEMS傳感器,以及應用此傳感器的電子設備?,F有主流的傳感器,例如麥克風、壓力傳感器、位移傳感器等,均是通過平板電容器的原理進行檢測。例如在麥克風的結構中,通常包括襯底以及形成在襯底上的背極板、振膜,其中,背極板與振膜之間具有間隙,使得背極板、振膜共同...
  • 一種提高吸氣效率的吸氣劑及其制備方法與流程
    本發明涉及吸氣劑,具體來說,涉及一種提高吸氣效率的吸氣劑及其制備方法。隨著工業4.0和物聯網的高速發展,對傳感器的需求量會快速增長。一些高性能傳感器需要進行高真空封裝,如何保證器件內部的高真空度及可靠性,是擺在傳感器生產廠家面前的一個關鍵技術難題,一般情況下,大多數廠商都會...
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